19.05.2010
19 мая 2010 г., КГТУ (КХТИ)
19 мая 2010 года в 13.00
в круглом зале "А" - корпуса
состоится научно-технический семинар:
"Низкотемпературная плазма: теория, диагностика, применение в промышленности"
в рамках семинара прозвучит доклад по теме:
"Исследования плазмы в США для применения в полупроводниковой промышленности"
Докладчик: Быканов А.Н., Компания "Cymer", г. Сан Диего, Калифорния
В докладе рассмотрены:
- диагностическая техника и средства измерения энергии ионов (сеточный анализатор и анализатор с осесимметричным полем),
- вакуумная и оптическая спектроскопия,
- теневая стробоскопия с высоким временным и пространственным разрешением,
- газовая масс-спектрометрия (RGA),
- результаты исследования и оптимизации плазменного фокуса (один из вариантов Z-пинча) и лазерной плазмы на металлической мишени с целью получения мощного источника мягкого рентгеновского излучения с длиной волны 13,5 нм, разрабатываемого для фотолитографии нового поколения производства схем памяти и микропроцессоров с размером полупроводниковых структур 32 нм и меньше.
|