19.05.2010
19 мая 2010 г., КГТУ (КХТИ) 19 мая 2010 года в 13.00 в круглом зале "А" - корпуса состоится научно-технический семинар: "Низкотемпературная плазма: теория, диагностика, применение в промышленности" в рамках семинара прозвучит доклад по теме: "Исследования плазмы в США для применения в полупроводниковой промышленности"
Докладчик: Быканов А.Н., Компания "Cymer", г. Сан Диего, Калифорния В докладе рассмотрены:
|
Научно-технический семинар "Низкотемпературная плазма: теория, диагностика, применение в промышленности"
Источник: Проректор по НР И.Ш. Абдуллин
Форма для печати
👉 Главные новости КНИТУ в Telegram